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テクニカルサポート

CCI HD

製造現場や研究において使用されるCCI HD は、1.5マイクロメータ以上の厚膜と50nmまでの薄膜コーティングを測定できます。

CCI MP-HS

研究環境に最適なCCI MP-HSは、非常に粗い表面から極めて滑らかな表面まで、あらゆる表面の測定が可能で、幅広い種類のコンポーネントを測定できます。

CCI HD

CCI HDは、非接触光学式3Dプロファイラで、薄膜および厚膜の測定機能を備えています。同システムは弊社特許技術のコリレーションアルゴリズムを採用し、高精細の光学式スキャニングユニットによって生成される干渉パターンのコヒーレンスピークおよび位相位置を突き止めます。CCI HDはシリーズ中最高の4Mピクセルカメラを備え、非常に広い視野を持ちます。さらにこの世界でもトップクラスの非接触形状測定機能は高度な薄膜および厚膜計測のテクノロジーが利用可能です。

CCI HD は、形状と粗さ測定の機能に加え、厚膜・薄膜両方の膜厚測定もできるよう設計されています。厚膜解析は、1.5マイクロメータ以上の半透明コーティングの研究に使用されています。その限界は、マテリアルの屈折率と対物レンズの開口数に依存します。コーティングが薄ければ薄いほど、難易度が上がります。

また、今日では、干渉法を使って最小50 nm(屈折率による)までの薄膜コーティングを調査することも可能です。この新しいアプローチは、薄くコーティングされた表面の膜厚、界面の粗さ、ピンホール欠陥、および層間剥離などの特性を1回の測定で調べることを可能にしました。

  • 広角視野:2048 x 2048 ピクセル
  • スキャンレンジ全体で一貫して0.01nmの高い垂直方向分解能
  • 表面反射率0.3% - 100%に対応可能
  • 0.2オングストローム未満の繰返し精度(RMS)、 0.1%未満の段差繰返し精度
  • Windows 7 64ビットソフトウェア
  • ISO準拠解析ソフトウェア「タリマップ」

CCI MP-HS

どんな測定物であれ、迅速な解析をしなくてはならない時、3D領域測定信頼性は、革新的なCCI MP-HS非接触光学式プロファイラによって保証されます。1メガピクセルハイスピードカメラと1/10オングストロームの垂直分解能の組み合わせで、粗い表面から滑らかな表面まで、あらゆる種類の表面を極めて詳細に解析できます。

解析機能の充実をプログラムが煩雑になることなく実現します。測定モードの切り替えや、中間でのレンズの校正などの無駄な作業を省略し、幅広い範囲の成分や表面を測定できます。標準化された手法、手順、およびレポーティングで、CCI MP-HSは品質管理システムへの統合に高い親和性があります。  

  • 視野:1024 x 1024ピクセル
  • 高度なX、Y、Zスティッチングで、測定範囲を拡張
  • 0.2オングストローム以下RMSの繰返し精度、0.1%以下の段差繰返し精度
  • 内蔵の防振システムで、最適なノイズパフォーマンス
  • 多言語対応のWindows 7 64ビットソフトウェア
  • ISO準拠解析ソフトウェア「タリマップ」