非接触式測定機


LUPHOS製品群

革新的新技術MWLI法(多波長干渉法)によって、製造から品質保証、研究開発から更には学術研究において、最も厳しい超精密・非接触距離測定の要求に応えます。

現在、
・高精度非接触三次元レンズ形状測定システム LUPHOScan
・MWLI法センサー LUPHOsmart

などがあります。 


タリサーフCCIシリーズ
CSI、WLIとも呼ばれる白色干渉技術に、弊社独自の解析アルゴリズムを加えたタリサーフCCIシリーズは、非接触表面粗さ測定においてもっとも信頼性の高い測定値を出すことができると自負しています。
非接触式でありながら、フォームタリサーフシリーズなど触針式測定機と相関性のある測定結果が得られるこの測定機には、要求仕様や用途に応じて複数のモデルがあります。

Zygo 3D Optical Surface Profilers
Optical profilers from ZYGO are white light interferometer systems, offering fast, non-contact, high-precision 3D metrology of surface features. All of Zygo optical profilers include proprietary data analysis and system control software.