MEMSとナノテクノロジー

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    マイクロエレクトロメカニカルシステムズ(MEMS)は今日多数の用途に使用されていますが、中でも圧力センサー、加速度センサー、マイクロミラーディスプレイ装置、流体マイクロポンプが挙げられます。MEMS機器は、集積回路業界で使用されていた製造技術をギア、ダイアフラム、接合ビームなどの機械部品作成に拡大しました。これらの機械要素の正確な測定は、低価格で高品質なMEMS機器量産の要求に応える上で非常に重要です。

     

    測定技術

    表面粗さ
    マイクロギアシステムのような固体同士の相互作用であっても、流体マイクロポンプに見られる固体対液体の相互作用であっても、MEMS機器の表面粗さを正確に測定することで、表面相互作用が制御可能になります。

    段差
    MEMS機器の段差を監視することは、重要な性能指標となります。横方向の寸法情報とならんで、ステップ高は質量の近似値を定め、機器中の個々の要素の基本的な発振周波数に影響を与えます。

    横方向寸法
    横方向寸法は、マイクロギアや流体システムを特性評価する際に特に重要です。ビーム幅のような重要な寸法だけでなく容積や表面積を正確に測定することで、容易に完成機器の性能管理ができます。

     

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