段差測定

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    段差の正確で繰り返し可能な測定は、多くのハイテク分野で求められています。テーラーホブソンは、ステップ高測定で最も厳しい要求に応えるよう設計された多くの機種をご提供します。サブナノメーターからミリメーターまでのステップ高範囲を0.1ナノメーター以下の繰り返し精度でカバーしています。

     

    測定技術

    3D段差
    表面の2つの部分に定義された2平面の段差を取り扱います。最初の部分は基準面として定義され、ソフトウェアによりこの部分で最も面積が小さい平面に適合されます。次に、第2面がそこから測定されます。平均段差と同様に、最大高、最小高、角度差も同様に測定されます。

    2D段差
    エッチングされた線や矩形部分など単純な幾何的形状の段差を測定する方法を取り扱います。2D段差は端部が露出していれば厚さの測定にも使用できます。

    ISO 5436-1ステップ高
    別々の測定機器から得られた段差の測定値を比較する場合には、測定方法の規格を遵守することが非常に重要です。ISO 5436-1では、国際的に認知された段差測定方法を規定しています。上記の機器は、すべてこの規格をサポートしています。

     

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