レーザーエタロンの寸法測定

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    エタロンは、ハイスペック(λ/100 かそれ以上)な平面レンズで、特定の周波数のレーザー光を収束するために用いられます。エタロンには極めて高い平面度が要求されるため、表面仕上げと段差/アライメントの測定要件は、非常に厳しくなります。テーラーホブソン社では、接触式と非接触式の新しい測定法によって、この難問を解決しました。タリサーフの詳細については、以下のリンクを参照してください。

    「Ultra コントア二次元解析」ソフトウェア

    部品の製図データとの直接比較を通して、長さ、角度、半径を解析。段差や角度をはじめとするエタロンの主要な寸法特徴について、カスタマイズされた自動ルーチンによる評価が可能。プロセス制御のための公差測定ならびにレポート作成のオート機能付

    「タリマップ三次元解析」ソフトウェア

    精密測定用に特別に設計されたタリマップのオプションは次の通り。ズーム、フィルタリング、最小二乗法によるレベリング、対称、回転、しきい値設定、円筒、球、ポリノミナル面の消去、その他多数。

     

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