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UKAS校正サービス

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UKAS 測定機校正認証サービス

最初は1966年にBritish Calibration Service (BCS)として知られ、1985年にNATLAS (National Testing Laboratories)と合併してNAMAS (National Measurement Accreditation Service)を設立しました。この認定機関は現在では、国際的に認識されている称号United Kingdom Accreditation Service (UKAS)に変わっています。
UKASは有限責任保証会社であり、キャリブレーション、テスト、サンプリングを実施する組織の能力を評価および認定する唯一の英国組織として、英国政府から認められています。UKASによって認定される研究所は、厳しいUKASの基準に適合していることを確認するために、定期的に評価および監査されます。この基準は、欧州規格EN 45001、ISO/IECガイド25、関連するBS EN ISO 9000規格シリーズに準拠しており、これらのすべては2002年に新しい単一の国際規格ISO/IEC 17025が後継しました。

Taylor Hobson UKAS LaboratoryはISO 17025の認定を2002年2月に、テスト研究所の認定を2004年1月に取得しました。この研究所は2007年9月に、新しく設計されたISOグレードのクリーンルーム施設に再構築されました。

UKASが認定したキャリブレーションおよびテストの信頼性は、ミドルセックスのテディントンに本拠がある国立物理研究所(National Physical Laboratory:NPL)によって英国で実現され維持されている英国測定規格(National Measurement Standards)に直接リンクしている階層システムである、「測定のトレーサビリティ(Traceability of Measurement)」の概念によって認証されています。UKASによる定期的な監督訪問には、研究所の品質管理システム、スタッフ、装置、測定のトレーサビリティ、記録、レポート、研究所の環境そのものの完全な監査が含まれています。

UKASのキャリブレーションは、測定装置や参照基準のエラーを定量化することにより、測定機能を改善することができます。その後これらのエラーは考慮され、補償されて、実際の測定精度(不確定要素)を改善することができます。

相互承認契約および国際トレーサビリティ:

UKASのポリシーと手順は、ヨーロッパ中では「認定に関する欧州協力(European Co-operation for Accreditation:EA)」による、国際的には「国際研究所認定協力(International Laboratory Accreditation Co-operation:ILAC)」による「多国間認証協定(Multilateral Recognition Agreements:MLA's)」によって、国際的に認められています。これにより、UKASが認定した研究所によって発行された証明書およびテストレポートは、他の国際組織によって認定された研究所によって発行されたものと、世界的に同等であることが保証されます。

 

 

 

 

 

 

 

 

 



現場での校正

当研究所は、テーラーホブソンと、そのサードパーティの工作機械および測定システムの線形精度および幾何学的精度を検証するための、現場でのキャリブレーションおよび測定設備の認定も取得しています。これらのキャリブレーションの不確定要素は、キャリブレーションが実行される実際環境によって異なり、この環境は現場でのキャリブレーションの実行前および実行中に監視されます。

UKAS検定では以下の検定を行っています。

真円度、表面粗さ 直径、長さ 多角形、角柱、角度ゲージ、オートコリメータ、クリノメータ、電子水準器、及びロータリーテーブル等

 


真円度測定

真円度測定で使用されるガラス半球は、真円度測定システムのスピンドルまたはターンテーブルの性能をキャリブレーションや評価するために使用する高精度基準です。

マルチステップエラー分離測定技術を使用して、当研究所では半球を、分解能1ナノメートル、測定の不確かさ5ナノメートルでキャリブレーションします。数値データ付の検定証明書を発行します。

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表面性状

UKASラボでは、世界中で使用されている表面構造に関するパラメータをすべて網羅しています。

真円度標準機は、Raの不確かさ  2% + 0.004 mm以下でキャリブレーションされ、これは国立物理研究所(National Physical Laboratory:NPL)以外の英国認定UKAS研究所で到達可能な最小値です。

表面粗さ、形状測定機フォームタリサーフのキャリブレーションにタングステンカーバイドの半球が、使用されます。

半球は、測定機校正またはその精度確認の為の基準として使用されます。

真直度

タリロンドのコラム真直度は、精度円筒マスタを使用して評価します。マスタ自体の不確かさを分離する高度な技術「反転法」を使用し、真直度を正確に求める事ができます。

直径および長さ

当研究所は現在、球、プラグ、リング、バーのキャリブレーションに対して英国から認定され、不確かさは0.5µm以下で測定可能です。


ポリゴン、角柱、角度計

角度測定に使用する基本的な方法は、高精度インデックステーブルを使用して円を正確に分割するか、または正確なサインバー(角度発生器)やロータリーバーをによって既知の角度を生成するかです。

高精度インデックステーブルは、多角形、角柱、角度計のキャリブレーション用オートコリメータと連動して使用されます。測定されたエラーはUKAS証明書に記載され、使用時にこのエラーを考慮することにより、 高精度の測定を実現することができます。

オートコリメータ

テーラーホブソンとNPLによって共同設計された微細角度発生器が、干渉キャリブレーションゲージブロックと連動して、オートコリメータのキャリブレーションに使用されます。漸増的エラーおよび周期的エラーを把握し、これらのエラー情報により、装置をさらに正確に使用することができます。

傾斜計およびレベル

ブロックレベル、傾斜計、電子レベルが、最新のサインレバー技術を使用してキャリブレーションされます。タリベル電子レベルはテイラーホブソンの小角度発生器を使用してキャリブレーションされ、装置を使用するときに、既知のエラーを補償する機能の利点を利用することができます。

テレスコープおよびコリメータ

微細アライメントテレスコープの照準線および変位誤差は、光学くさびおよび固定/可変焦点コリメータを使用して、評価します。偏差はUKAS証明書に記録され、より正確な測定の手段を提供します。マイクロメータおよび焦点の精度も、トレース可能にキャリブレーションされたスケールおよびアーチファクトを使用して、検証されます。

平面度

光学的平面度および直定規は、Zygo GPF位相シフト干渉計を使用して、市場で得られる最小程度の不確定要素まで、キャリブレーションされます。表面テーブルの平面度の現場でのキャリブレーションは、タリベル電子レベルを分析ソフトウェアと連動して使用して実行し、テーブル表面の3次元プロットを作成することができます。

インデックステーブルおよびロータリーテーブル

ロータリー装置のキャリブレーションには種々の技術が使用され、不確かさは僅か0.3秒以下です。

最高到達可能精度(不確かさ)
半球マスタ± 0.005 um
表面粗さマスタ 2% + 0.004 um
段差マスタ 0.004 um
真直度マスタ 0.10 um
直径および長さ 0.5 um
ポリゴンプリズム、角度ゲージ 0.5 seconds of arc
オートコリメータ 0.5 seconds of arc
クリノメータ 1.0 seconds of arc
レベルブロック 2.0 seconds of arc
電気レベル 1.0 seconds of arc
芯出し望遠鏡 2.0 seconds (Infinity) and 10.0m (Line of Sight)
コリメータ 1.0 seconds of arc
オプチカルフラット 0.05 um
サーフェーステーブル 1.5 + (0.8 X Diagonal in meters)
ロータリーテーブル 1.0 seconds of arc
インデックステーブル 0.3 seconds of arc
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