CCI HD

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    CCI HDは、非接触光学式3Dプロファイラで、薄膜および厚膜の測定機能を備えています。同システムは弊社特許技術のコリレーションアルゴリズムを採用し、高精細の光学式スキャニングユニットによって生成される干渉パターンのコヒーレンスピークおよび位相位置を突き止めます。CCI HDはシリーズ中最高の4Mピクセルカメラを備え、非常に広い視野を持ちます。さらにこの世界でもトップクラスの非接触形状測定機能は高度な薄膜および厚膜計測のテクノロジーが利用可能です。

    CCI HD は、形状と粗さ測定の機能に加え、厚膜・薄膜両方の膜厚測定もできるよう設計されています。厚膜解析は、1.5マイクロメータ以上の半透明コーティングの研究に使用されています。その限界は、マテリアルの屈折率と対物レンズの開口数に依存します。コーティングが薄ければ薄いほど、難易度が上がります。

    また、今日では、干渉法を使って最小50 nm(屈折率による)までの薄膜コーティングを調査することも可能です。この新しいアプローチは、薄くコーティングされた表面の膜厚、界面の粗さ、ピンホール欠陥、および層間剥離などの特性を1回の測定で調べることを可能にしました。

    • 広角視野:2048 x 2048 ピクセル
    • スキャンレンジ全体で一貫して0.01nmの高い垂直方向分解能
    • 表面反射率0.3% - 100%に対応可能
    • 0.2オングストローム未満の繰返し精度(RMS)、 0.1%未満の段差繰返し精度
    • Windows 7 64ビットソフトウェア
    • ISO準拠解析ソフトウェア「タリマップ」
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