Zygo 3D Optical Surface Profilers

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    3D光学表面プロファイラ

    ZYGO光学プロファイラは白色光干渉計システムで、高速、非接触式の高精密3D表面形体計測を提供します。当社光学プロファイラには当社独自のデータ分析ソフトウェアおよびシステム制御ソフトウェアが含まれます。精度、速度、オートメーション、構成の柔軟性、垂直範囲など、アプリケーション要件によって適切な表面測定システムは異なります。

    プロファイラの対物レンズ

    ZYGO光学プロファイラ用対物レンズ

    光学プロファイラの性能と特性は使用する対物レンズに大きく依存します。対物レンズは拡大率、測定範囲、スロープ性能、プロファイラの視野を決定するので、適切な対物レンズを選択することは測定目標の達成において極めて重要となります。光学プロファイラにおけるZYGO対物レンズのラインナップは業界で群を抜く規模を誇っており、今なお拡大を続けています。ZYGO対物レンズの設計製造はすべて社内で行われており、当社プロファイラに最適な最高品質の対物レンズを保証しています。この性能はZYGO特有です。

    ZYGOはまた、大きな測定範囲、広角な視野、薄いフィルムや透明サーフェス下の表面測定機能用の特殊対物レンズも提供しています。対物レンズ選択チャート(PDF)をダウンロードして当社対物レンズのラインナップすべてをご覧ください。

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