加工プロセスの再現
真円度測定機タリロンド400Hシリーズは回転、垂直、及び水平方向の測定基準を使用し、加工プロセスを測定機上で再現します。プロセスを再現することでより細かく加工プロセスをコントロール可能となります。
測定結果の再現性
数十年に渡る超精密加工、測定の経験と、有限要素法による設計の最適化で、低ノイズの測定機製造を実現しました。トレーサブルな校正片と独自の校正アルゴリズムで装置が測定結果に与える影響を効果的に除去しています。
- オプションでアーム方向転換の自動化が可能
- 自動でゲージ校正
- 高精度エアベアリングスピンドル 精度 ± 0.015 um
- ゲージ分解能 0.3 nm
- 300 mmおよび500 mm 垂直方向真直度ユニット